极紫外光刻市场规模、份额及趋势分析报告（按产品类型（光源、反射镜、掩模）、类型（代工厂、集成器件制造商 (IDM)）和地区（北美、欧洲、亚太、中东和非洲、拉丁美洲）划分）预测，2026-2034 年

极紫外光刻市场规模

2025年全球极紫外光刻市场规模为236.4亿美元，预计将从2026年的259.5亿美元增长到2034年的546.6亿美元，在2026年至2034年的预测期内，复合年增长率为9.76%。台湾在极紫外光刻市场占据主导地位，2025年的市场份额为31.5%。

极紫外光刻（EUVL）是用于印刷细至30纳米线条并制造微处理器和微芯片的下一代光刻（NGL）技术中的佼佼者。这种方法有望取代目前用于微电路设计的光学光刻技术。EUVL系统利用从硅片反射的紫外光束，将光刻技术产生的图案烧蚀到硅片上。

产品洞察

掩模是市场中贡献最大的部分，预计在预测期内将以16.56%的复合年增长率增长。典型的掩模是一种不透明的板或薄膜，其上带有透明区域，光线可以以特定图案穿过。掩模常用于制造半导体芯片的光刻工艺中，并有多种尺寸可供选择。掩模种类繁多，包括光学掩模和极紫外光刻掩模。由于运算放大器的广泛应用以及各行业自动化系统的激增，平板显示器（FPD）的增长预计将为光掩模的开发带来巨大的机遇。

尽管自诞生以来，极紫外光刻（EUVL）技术几乎在各个领域都面临诸多挑战，但它已成为最有前景的下一代光刻方法之一。目前，商用步进扫描式预生产设备已安装完毕并投入使用。EUV光刻采用波长为13.5纳米的光，其波长比深紫外（DUV）光短14倍以上。由于波长极短，因此可以使用较小的数值孔径，并避免全反射光学器件中的自渐晕问题。利用激光等离子体（LPP）技术制造EUV光源的技术由EUV系统顶级供应商之一的ASML公司开发。

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类型洞察

铸造行业市场份额最大，预计在预测期内将以 17.19% 的复合年增长率增长。

由于包括三星、台积电（TSMC）等在内的多家代工厂采用极紫外（EUV）光刻技术进行芯片制造和晶圆加工，该技术的应用范围正在不断扩大。台积电计划在2022年底前开始大规模生产3纳米产品，并以此主导国际代工市场。三星电子计划在2030年凭借其紫外（EUV）光刻技术超越台积电。该公司计划于2024年开始生产采用2纳米工艺的产品。为了满足日益增长的市场需求，台积电与索尼半导体解决方案有限公司（SSS）合作，在日本熊本成立了一家名为日本先进半导体制造有限公司（JASM）的子公司，专门提供22/28纳米工艺的代工服务。

集成器件制造商（IDM）是一家生产、设计和销售集成电路（IC）的半导体企业。传统的IDM拥有自己的本地品牌芯片，自主设计IC，并拥有生产制造工厂。然而，市场的发展可归因于IDM公司不断加大研发投入，以改进研发活动，并开发技术先进的半导体IC、传感器、RFID电路和片上系统。为了提高IC产能，这些企业经常与半导体制造设备供应商合作。业内企业高度重视改进其IC制造设施。因此，预计市场对半导体制造设备的需求将会增加。

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区域洞察

台湾是最大的收入贡献者，预计在预测期内将以18.44%的复合年增长率增长。台湾在国际市场上具有优势。由于台积电在台湾的扩张以及对极紫外（EUV）光刻技术投资的增加等因素，台湾的极紫外光刻市场正在扩张。台湾在亚太地区的极紫外光刻收入份额最大。台湾也在对极紫外光刻技术进行大量投资。

例如，美光科技于2021年9月决定安装ASML最新的光刻设备NXE:3600D。此外，美光科技还将在其台湾DRAM制造工厂部署同样的EUV光刻设备。台湾将成为美光科技首个EUV DRAM生产线所在地，该公司计划在未来几年内加大在台湾的投资。

韩国市场趋势

预计韩国在预测期内将以16.98%的复合年增长率增长。随着半导体几何尺寸的不断缩小，韩国已意识到采用极紫外光刻技术的重要性。该技术为人工智能、5G和汽车等下一代应用提供了理想且高效的解决方案，能够缩小晶圆上复杂图案的尺寸。2021年11月，荷兰芯片制造设备制造商ASML控股公司与韩国签署了一份合同，计划到2024年投资2400亿韩元（约合2.02亿美元）在韩国建立一个光刻产业集群。许多韩国半导体公司已从ASML获得了深紫外和极紫外光刻系统。

由于美国持续的技术进步，该国已成为极紫外光刻系统的重要市场。随着人工智能 (AI)、5G 连接、增强现实以及其他众多系统的需求不断增长，微芯片的需求也在持续增加。这为美国极紫外光刻市场的参与者创造了巨大的机遇。随着美国对自动驾驶汽车的需求不断增长，制造商希望为使用 5G 等最新技术的客户提供相应的工艺或解决方案。

荷兰、中国、德国和日本等国家都位于这些其他区域。ASML 的新培训中心将惠及全球市场。尽管该公司是欧洲半导体设备领域的领军企业，但其最大的客户却是台湾最知名的制造商。据《亚洲日经评论》报道，台积电在 2021 年接收了 ASML 出货的 35 套 EUV 系统中的 20 套。这家荷兰公司正通过向这家芯片制造商的员工介绍其设备，为未来的销售奠定基础。到 2023 年，ASML 预计将有超过 500 名员工在台湾工作，这得益于其在台湾开设的新研发中心。在中美贸易紧张局势下，中国半导体制造商利用芯片制造设备快速生产国产产品。这种情况推高了日本二手市场上各种设备的价格。日本的二手设备经销商声称，仅一年时间，价格就上涨了 20%。美国对中国的制裁不适用于老旧设备，这使得中国企业可以畅通无阻地使用这些设备。因此，在未来几年，中国和日本的极紫外光刻市场将为利益相关者创造关键机遇。

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主要和新兴参与者名单 极紫外光刻市场