01 人工智能驱动的故障分析能够更快地发现根本原因 人工智能 (AI) 和机器学习正日益融入故障分析工作流程,以实现缺陷检测、图像分割、异常识别和根本原因分析的自动化。2025 年 11 月,蔡司重点介绍了基于 AI 的多模态显微镜工作流程,该流程支持自动化缺陷检测和预测性故障分析;而 2025 年 7 月发表的研究则展示了用于半导体器件表征的 FIB-SEM 断层扫描数据的少样本 AI 分割。这些功能有助于分析人员更高效地处理大量高分辨率成像数据,同时减少人工检测时间并提高诊断的一致性。 2025年11月,蔡司提出了一种将FIB-SEM三维断层扫描与人工智能分割相结合的方法,以实现故障分析工作流程部分环节的自动化。该案例研究展示了人工智能如何分割半导体器件生成的复杂三维数据集,从而减少缺陷表征所需的人工工作量。
02 先进的多模态成像技术可提高纳米级故障检测能力 半导体器件日益复杂化和小型化,推动了先进显微镜和组合分析平台(包括扫描电子显微镜 (SEM)、聚焦离子束扫描电子显微镜 (FIB-SEM)、透射电子显微镜 (TEM)、光谱学和三维成像)的应用。集成系统可在单一工作流程中结合离子束铣削、电子成像和化学成分分析,从而实现对缺陷更精细的检测,同时减少样品转移过程中产生的伪影。向自动化三维 FIB-SEM 断层扫描和高分辨率成像的转变,对于分析先进芯片结构、微凸块和其他纳米级组件尤为重要。 2025年5月,研究表明了一种结合激光分层技术的混合方法,聚焦离子束利用聚焦离子束(FIB)加工、共聚焦显微镜和扫描电子显微镜加速半导体逆向工程和失效分析。这些方法已在先进的14纳米工艺芯片上得到验证,能够在减少材料去除时间和热损伤的同时,实现嵌入式电路的体积成像。
01 电子和半导体复杂性的不断增加提高了故障分析的要求。 电子和半导体行业的快速扩张催生了对故障分析服务和技术的日益增长的需求。日益增长的复杂性和小型化……电子元件随着物联网、5G、先进通信设备和消费电子产品的发展,制造缺陷、设计问题和元件故障的风险也随之增加。随着半导体器件日益复杂,即使是微小缺陷,找出其根本原因对于维护产品可靠性和防止代价高昂的故障也变得越来越重要。
01 高昂的分析成本和漫长的测试周期限制了其更广泛的应用。 失效分析通常需要精密的设备、专业的实验室、经验丰富的专业人员以及多种分析技术,包括显微镜、光谱学和机械测试。这些要求会显著增加分析成本,尤其是在进行复杂调查时。全面的失效分析可能需要 10 个工作日或更长时间,而高度复杂的案例可能需要数周甚至数月。如此高昂的成本和漫长的周转时间可能会使预算有限的小型公司和组织望而却步,从而放弃开展广泛的失效调查。
01 汽车电气化和先进车辆技术拓展了分析应用 汽车行业的持续增长为故障分析服务提供商创造了巨大的机遇。现代汽车越来越多地采用半导体、电子控制单元、传感器、电池、先进材料和其他精密部件,因此部件可靠性对车辆的安全性和性能至关重要。故障分析能够帮助制造商识别铸造、材料、电子元件和制造工艺中的缺陷,同时支持设计改进并防止故障再次发生。电动汽车和高科技汽车的普及预计将进一步增加对详细部件级故障分析的需求。
01 复杂的材料和微型化的部件使根本原因的识别更加困难。 先进材料、精密制造技术和高度微型化部件的日益普及,使得故障分析的技术难度不断提升。故障分析人员必须在微观或纳米尺度上识别缺陷,同时还要区分制造缺陷、设计问题、材料不一致性以及环境因素。随着产品集成度的不断提高,如何在不损坏样品或引入其他变量的情况下精准定位根本原因,对故障分析服务提供商而言是一项重大挑战。