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Marktbericht für Fotolithografieanlagen: Größe, Marktanteil und Trendanalyse nach Verfahren (Ultraviolett, Tiefes Ultraviolett, Extremes Ultraviolett), Anwendung (Frontend, Backend), Lichtquelle (Quecksilberdampflampe, Fluorlaser, Excimerlaser, Sonstige), Typ (EUV, DUV, I-Linie, ArF, ArFi, KrF), Wellenlänge (370 nm – 270 nm, 270 nm – 170 nm, 70 nm – 1 nm), Endnutzer (IDMS, Foundries) und Region (Nordamerika, Europa, Asien-Pazifik, Naher Osten und Afrika, Lateinamerika). Prognosen für 2026–2034.

Zuletzt aktualisiert: May 25, 2026 | Autor: Tejas Zamde | Format:
Überblick Inhaltsverzeichnis Segmentierung Methodik
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Marktsegmentierung

  1. Markt für Fotolithografie-Ausrüstung, Nach Prozess 2022-2034 (USD MILLION/ Units)
    1. Ultraviolett
    2. Tiefes Ultraviolett
    3. Extremes Ultraviolett
  2. Markt für Fotolithografie-Ausrüstung, Auf Antrag 2022-2034 (USD MILLION/ Units)
    1. Frontend
    2. Backend
  3. Markt für Fotolithografie-Ausrüstung, Durch Lichtquelle 2022-2034 (USD MILLION/ Units)
    1. Quecksilberlampe
    2. Fluorlaser
    3. Excimerlaser
    4. Andere
  4. Markt für Fotolithografie-Ausrüstung, Nach Typ 2022-2034 (USD MILLION/ Units)
    1. EUV
    2. DUV
    3. I-Line
    4. ArF
    5. ArFi
    6. KrF
  5. Markt für Fotolithografie-Ausrüstung, Nach Wellenlänge 2022-2034 (USD MILLION/ Units)
    1. 370 nm–270 nm
    2. 270 nm–170 nm
    3. 70 nm–1 nm
  6. Markt für Fotolithografie-Ausrüstung, Vom Endnutzer Vom Endnutzer 2022-2034 (USD MILLION/ Units)
    1. IDMS
    2. Gießereien
  7. Regional Markt für Fotolithografie-Ausrüstung
    1. Nordamerika
      1. Nordamerika Markt für Fotolithografie-Ausrüstung Nach Prozess 2022-2034 (USD MILLION/ Units)
        1. Ultraviolett
        2. Tiefes Ultraviolett
        3. Extremes Ultraviolett
      2. Nordamerika Markt für Fotolithografie-Ausrüstung Auf Antrag 2022-2034 (USD MILLION/ Units)
        1. Frontend
        2. Backend
      3. Nordamerika Markt für Fotolithografie-Ausrüstung Durch Lichtquelle 2022-2034 (USD MILLION/ Units)
        1. Quecksilberlampe
        2. Fluorlaser
        3. Excimerlaser
        4. Andere
      4. Nordamerika Markt für Fotolithografie-Ausrüstung Nach Typ 2022-2034 (USD MILLION/ Units)
        1. EUV
        2. DUV
        3. I-Line
        4. ArF
        5. ArFi
        6. KrF
      5. Nordamerika Markt für Fotolithografie-Ausrüstung Nach Wellenlänge 2022-2034 (USD MILLION/ Units)
        1. 370 nm–270 nm
        2. 270 nm–170 nm
        3. 70 nm–1 nm
      6. Nordamerika Markt für Fotolithografie-Ausrüstung Vom Endnutzer Vom Endnutzer 2022-2034 (USD MILLION/ Units)
        1. IDMS
        2. Gießereien
      7. USA
        1. Ultraviolett
        2. Tiefes Ultraviolett
        3. Extremes Ultraviolett
        4. Frontend
        5. Backend
        6. Quecksilberlampe
        7. Fluorlaser
        8. Excimerlaser
        9. Andere
        10. EUV
        11. DUV
        12. I-Line
        13. ArF
        14. ArFi
        15. KrF
        16. 370 nm–270 nm
        17. 270 nm–170 nm
        18. 70 nm–1 nm
        19. IDMS
        20. Gießereien
      8. Kanada
        1. Ultraviolett
        2. Tiefes Ultraviolett
        3. Extremes Ultraviolett
        4. Frontend
        5. Backend
        6. Quecksilberlampe
        7. Fluorlaser
        8. Excimerlaser
        9. Andere
        10. EUV
        11. DUV
        12. I-Line
        13. ArF
        14. ArFi
        15. KrF
        16. 370 nm–270 nm
        17. 270 nm–170 nm
        18. 70 nm–1 nm
        19. IDMS
        20. Gießereien
    2. Europa
      1. Europa Markt für Fotolithografie-Ausrüstung Nach Prozess 2022-2034 (USD MILLION/ Units)
        1. Ultraviolett
        2. Tiefes Ultraviolett
        3. Extremes Ultraviolett
      2. Europa Markt für Fotolithografie-Ausrüstung Auf Antrag 2022-2034 (USD MILLION/ Units)
        1. Frontend
        2. Backend
      3. Europa Markt für Fotolithografie-Ausrüstung Durch Lichtquelle 2022-2034 (USD MILLION/ Units)
        1. Quecksilberlampe
        2. Fluorlaser
        3. Excimerlaser
        4. Andere
      4. Europa Markt für Fotolithografie-Ausrüstung Nach Typ 2022-2034 (USD MILLION/ Units)
        1. EUV
        2. DUV
        3. I-Line
        4. ArF
        5. ArFi
        6. KrF
      5. Europa Markt für Fotolithografie-Ausrüstung Nach Wellenlänge 2022-2034 (USD MILLION/ Units)
        1. 370 nm–270 nm
        2. 270 nm–170 nm
        3. 70 nm–1 nm
      6. Europa Markt für Fotolithografie-Ausrüstung Vom Endnutzer Vom Endnutzer 2022-2034 (USD MILLION/ Units)
        1. IDMS
        2. Gießereien
      7. Großbritannien
        1. Ultraviolett
        2. Tiefes Ultraviolett
        3. Extremes Ultraviolett
        4. Frontend
        5. Backend
        6. Quecksilberlampe
        7. Fluorlaser
        8. Excimerlaser
        9. Andere
        10. EUV
        11. DUV
        12. I-Line
        13. ArF
        14. ArFi
        15. KrF
        16. 370 nm–270 nm
        17. 270 nm–170 nm
        18. 70 nm–1 nm
        19. IDMS
        20. Gießereien
      8. Deutschland
        1. Ultraviolett
        2. Tiefes Ultraviolett
        3. Extremes Ultraviolett
        4. Frontend
        5. Backend
        6. Quecksilberlampe
        7. Fluorlaser
        8. Excimerlaser
        9. Andere
        10. EUV
        11. DUV
        12. I-Line
        13. ArF
        14. ArFi
        15. KrF
        16. 370 nm–270 nm
        17. 270 nm–170 nm
        18. 70 nm–1 nm
        19. IDMS
        20. Gießereien
      9. Frankreich
        1. Ultraviolett
        2. Tiefes Ultraviolett
        3. Extremes Ultraviolett
        4. Frontend
        5. Backend
        6. Quecksilberlampe
        7. Fluorlaser
        8. Excimerlaser
        9. Andere
        10. EUV
        11. DUV
        12. I-Line
        13. ArF
        14. ArFi
        15. KrF
        16. 370 nm–270 nm
        17. 270 nm–170 nm
        18. 70 nm–1 nm
        19. IDMS
        20. Gießereien
      10. Spanien
        1. Ultraviolett
        2. Tiefes Ultraviolett
        3. Extremes Ultraviolett
        4. Frontend
        5. Backend
        6. Quecksilberlampe
        7. Fluorlaser
        8. Excimerlaser
        9. Andere
        10. EUV
        11. DUV
        12. I-Line
        13. ArF
        14. ArFi
        15. KrF
        16. 370 nm–270 nm
        17. 270 nm–170 nm
        18. 70 nm–1 nm
        19. IDMS
        20. Gießereien
      11. Italien
        1. Ultraviolett
        2. Tiefes Ultraviolett
        3. Extremes Ultraviolett
        4. Frontend
        5. Backend
        6. Quecksilberlampe
        7. Fluorlaser
        8. Excimerlaser
        9. Andere
        10. EUV
        11. DUV
        12. I-Line
        13. ArF
        14. ArFi
        15. KrF
        16. 370 nm–270 nm
        17. 270 nm–170 nm
        18. 70 nm–1 nm
        19. IDMS
        20. Gießereien
      12. Russland
        1. Ultraviolett
        2. Tiefes Ultraviolett
        3. Extremes Ultraviolett
        4. Frontend
        5. Backend
        6. Quecksilberlampe
        7. Fluorlaser
        8. Excimerlaser
        9. Andere
        10. EUV
        11. DUV
        12. I-Line
        13. ArF
        14. ArFi
        15. KrF
        16. 370 nm–270 nm
        17. 270 nm–170 nm
        18. 70 nm–1 nm
        19. IDMS
        20. Gießereien
      13. Nordisch
        1. Ultraviolett
        2. Tiefes Ultraviolett
        3. Extremes Ultraviolett
        4. Frontend
        5. Backend
        6. Quecksilberlampe
        7. Fluorlaser
        8. Excimerlaser
        9. Andere
        10. EUV
        11. DUV
        12. I-Line
        13. ArF
        14. ArFi
        15. KrF
        16. 370 nm–270 nm
        17. 270 nm–170 nm
        18. 70 nm–1 nm
        19. IDMS
        20. Gießereien
      14. Benelux-Ländern
        1. Ultraviolett
        2. Tiefes Ultraviolett
        3. Extremes Ultraviolett
        4. Frontend
        5. Backend
        6. Quecksilberlampe
        7. Fluorlaser
        8. Excimerlaser
        9. Andere
        10. EUV
        11. DUV
        12. I-Line
        13. ArF
        14. ArFi
        15. KrF
        16. 370 nm–270 nm
        17. 270 nm–170 nm
        18. 70 nm–1 nm
        19. IDMS
        20. Gießereien
      15. Restliches Europa
        1. Ultraviolett
        2. Tiefes Ultraviolett
        3. Extremes Ultraviolett
        4. Frontend
        5. Backend
        6. Quecksilberlampe
        7. Fluorlaser
        8. Excimerlaser
        9. Andere
        10. EUV
        11. DUV
        12. I-Line
        13. ArF
        14. ArFi
        15. KrF
        16. 370 nm–270 nm
        17. 270 nm–170 nm
        18. 70 nm–1 nm
        19. IDMS
        20. Gießereien
    3. APAC
      1. APAC Markt für Fotolithografie-Ausrüstung Nach Prozess 2022-2034 (USD MILLION/ Units)
        1. Ultraviolett
        2. Tiefes Ultraviolett
        3. Extremes Ultraviolett
      2. APAC Markt für Fotolithografie-Ausrüstung Auf Antrag 2022-2034 (USD MILLION/ Units)
        1. Frontend
        2. Backend
      3. APAC Markt für Fotolithografie-Ausrüstung Durch Lichtquelle 2022-2034 (USD MILLION/ Units)
        1. Quecksilberlampe
        2. Fluorlaser
        3. Excimerlaser
        4. Andere
      4. APAC Markt für Fotolithografie-Ausrüstung Nach Typ 2022-2034 (USD MILLION/ Units)
        1. EUV
        2. DUV
        3. I-Line
        4. ArF
        5. ArFi
        6. KrF
      5. APAC Markt für Fotolithografie-Ausrüstung Nach Wellenlänge 2022-2034 (USD MILLION/ Units)
        1. 370 nm–270 nm
        2. 270 nm–170 nm
        3. 70 nm–1 nm
      6. APAC Markt für Fotolithografie-Ausrüstung Vom Endnutzer Vom Endnutzer 2022-2034 (USD MILLION/ Units)
        1. IDMS
        2. Gießereien
      7. China
        1. Ultraviolett
        2. Tiefes Ultraviolett
        3. Extremes Ultraviolett
        4. Frontend
        5. Backend
        6. Quecksilberlampe
        7. Fluorlaser
        8. Excimerlaser
        9. Andere
        10. EUV
        11. DUV
        12. I-Line
        13. ArF
        14. ArFi
        15. KrF
        16. 370 nm–270 nm
        17. 270 nm–170 nm
        18. 70 nm–1 nm
        19. IDMS
        20. Gießereien
      8. Korea
        1. Ultraviolett
        2. Tiefes Ultraviolett
        3. Extremes Ultraviolett
        4. Frontend
        5. Backend
        6. Quecksilberlampe
        7. Fluorlaser
        8. Excimerlaser
        9. Andere
        10. EUV
        11. DUV
        12. I-Line
        13. ArF
        14. ArFi
        15. KrF
        16. 370 nm–270 nm
        17. 270 nm–170 nm
        18. 70 nm–1 nm
        19. IDMS
        20. Gießereien
      9. Japan
        1. Ultraviolett
        2. Tiefes Ultraviolett
        3. Extremes Ultraviolett
        4. Frontend
        5. Backend
        6. Quecksilberlampe
        7. Fluorlaser
        8. Excimerlaser
        9. Andere
        10. EUV
        11. DUV
        12. I-Line
        13. ArF
        14. ArFi
        15. KrF
        16. 370 nm–270 nm
        17. 270 nm–170 nm
        18. 70 nm–1 nm
        19. IDMS
        20. Gießereien
      10. Indien
        1. Ultraviolett
        2. Tiefes Ultraviolett
        3. Extremes Ultraviolett
        4. Frontend
        5. Backend
        6. Quecksilberlampe
        7. Fluorlaser
        8. Excimerlaser
        9. Andere
        10. EUV
        11. DUV
        12. I-Line
        13. ArF
        14. ArFi
        15. KrF
        16. 370 nm–270 nm
        17. 270 nm–170 nm
        18. 70 nm–1 nm
        19. IDMS
        20. Gießereien
      11. Australien
        1. Ultraviolett
        2. Tiefes Ultraviolett
        3. Extremes Ultraviolett
        4. Frontend
        5. Backend
        6. Quecksilberlampe
        7. Fluorlaser
        8. Excimerlaser
        9. Andere
        10. EUV
        11. DUV
        12. I-Line
        13. ArF
        14. ArFi
        15. KrF
        16. 370 nm–270 nm
        17. 270 nm–170 nm
        18. 70 nm–1 nm
        19. IDMS
        20. Gießereien
      12. Taiwan
        1. Ultraviolett
        2. Tiefes Ultraviolett
        3. Extremes Ultraviolett
        4. Frontend
        5. Backend
        6. Quecksilberlampe
        7. Fluorlaser
        8. Excimerlaser
        9. Andere
        10. EUV
        11. DUV
        12. I-Line
        13. ArF
        14. ArFi
        15. KrF
        16. 370 nm–270 nm
        17. 270 nm–170 nm
        18. 70 nm–1 nm
        19. IDMS
        20. Gießereien
      13. Südostasien
        1. Ultraviolett
        2. Tiefes Ultraviolett
        3. Extremes Ultraviolett
        4. Frontend
        5. Backend
        6. Quecksilberlampe
        7. Fluorlaser
        8. Excimerlaser
        9. Andere
        10. EUV
        11. DUV
        12. I-Line
        13. ArF
        14. ArFi
        15. KrF
        16. 370 nm–270 nm
        17. 270 nm–170 nm
        18. 70 nm–1 nm
        19. IDMS
        20. Gießereien
      14. Rest von Asien-Pazifik
        1. Ultraviolett
        2. Tiefes Ultraviolett
        3. Extremes Ultraviolett
        4. Frontend
        5. Backend
        6. Quecksilberlampe
        7. Fluorlaser
        8. Excimerlaser
        9. Andere
        10. EUV
        11. DUV
        12. I-Line
        13. ArF
        14. ArFi
        15. KrF
        16. 370 nm–270 nm
        17. 270 nm–170 nm
        18. 70 nm–1 nm
        19. IDMS
        20. Gießereien
    4. Naher Osten und Afrika
      1. Naher Osten und Afrika Markt für Fotolithografie-Ausrüstung Nach Prozess 2022-2034 (USD MILLION/ Units)
        1. Ultraviolett
        2. Tiefes Ultraviolett
        3. Extremes Ultraviolett
      2. Naher Osten und Afrika Markt für Fotolithografie-Ausrüstung Auf Antrag 2022-2034 (USD MILLION/ Units)
        1. Frontend
        2. Backend
      3. Naher Osten und Afrika Markt für Fotolithografie-Ausrüstung Durch Lichtquelle 2022-2034 (USD MILLION/ Units)
        1. Quecksilberlampe
        2. Fluorlaser
        3. Excimerlaser
        4. Andere
      4. Naher Osten und Afrika Markt für Fotolithografie-Ausrüstung Nach Typ 2022-2034 (USD MILLION/ Units)
        1. EUV
        2. DUV
        3. I-Line
        4. ArF
        5. ArFi
        6. KrF
      5. Naher Osten und Afrika Markt für Fotolithografie-Ausrüstung Nach Wellenlänge 2022-2034 (USD MILLION/ Units)
        1. 370 nm–270 nm
        2. 270 nm–170 nm
        3. 70 nm–1 nm
      6. Naher Osten und Afrika Markt für Fotolithografie-Ausrüstung Vom Endnutzer Vom Endnutzer 2022-2034 (USD MILLION/ Units)
        1. IDMS
        2. Gießereien
      7. VAE
        1. Ultraviolett
        2. Tiefes Ultraviolett
        3. Extremes Ultraviolett
        4. Frontend
        5. Backend
        6. Quecksilberlampe
        7. Fluorlaser
        8. Excimerlaser
        9. Andere
        10. EUV
        11. DUV
        12. I-Line
        13. ArF
        14. ArFi
        15. KrF
        16. 370 nm–270 nm
        17. 270 nm–170 nm
        18. 70 nm–1 nm
        19. IDMS
        20. Gießereien
      8. Türkei
        1. Ultraviolett
        2. Tiefes Ultraviolett
        3. Extremes Ultraviolett
        4. Frontend
        5. Backend
        6. Quecksilberlampe
        7. Fluorlaser
        8. Excimerlaser
        9. Andere
        10. EUV
        11. DUV
        12. I-Line
        13. ArF
        14. ArFi
        15. KrF
        16. 370 nm–270 nm
        17. 270 nm–170 nm
        18. 70 nm–1 nm
        19. IDMS
        20. Gießereien
      9. Saudi-Arabien
        1. Ultraviolett
        2. Tiefes Ultraviolett
        3. Extremes Ultraviolett
        4. Frontend
        5. Backend
        6. Quecksilberlampe
        7. Fluorlaser
        8. Excimerlaser
        9. Andere
        10. EUV
        11. DUV
        12. I-Line
        13. ArF
        14. ArFi
        15. KrF
        16. 370 nm–270 nm
        17. 270 nm–170 nm
        18. 70 nm–1 nm
        19. IDMS
        20. Gießereien
      10. Südafrika
        1. Ultraviolett
        2. Tiefes Ultraviolett
        3. Extremes Ultraviolett
        4. Frontend
        5. Backend
        6. Quecksilberlampe
        7. Fluorlaser
        8. Excimerlaser
        9. Andere
        10. EUV
        11. DUV
        12. I-Line
        13. ArF
        14. ArFi
        15. KrF
        16. 370 nm–270 nm
        17. 270 nm–170 nm
        18. 70 nm–1 nm
        19. IDMS
        20. Gießereien
      11. Ägypten
        1. Ultraviolett
        2. Tiefes Ultraviolett
        3. Extremes Ultraviolett
        4. Frontend
        5. Backend
        6. Quecksilberlampe
        7. Fluorlaser
        8. Excimerlaser
        9. Andere
        10. EUV
        11. DUV
        12. I-Line
        13. ArF
        14. ArFi
        15. KrF
        16. 370 nm–270 nm
        17. 270 nm–170 nm
        18. 70 nm–1 nm
        19. IDMS
        20. Gießereien
      12. Nigeria
        1. Ultraviolett
        2. Tiefes Ultraviolett
        3. Extremes Ultraviolett
        4. Frontend
        5. Backend
        6. Quecksilberlampe
        7. Fluorlaser
        8. Excimerlaser
        9. Andere
        10. EUV
        11. DUV
        12. I-Line
        13. ArF
        14. ArFi
        15. KrF
        16. 370 nm–270 nm
        17. 270 nm–170 nm
        18. 70 nm–1 nm
        19. IDMS
        20. Gießereien
      13. Rest von MEA
        1. Ultraviolett
        2. Tiefes Ultraviolett
        3. Extremes Ultraviolett
        4. Frontend
        5. Backend
        6. Quecksilberlampe
        7. Fluorlaser
        8. Excimerlaser
        9. Andere
        10. EUV
        11. DUV
        12. I-Line
        13. ArF
        14. ArFi
        15. KrF
        16. 370 nm–270 nm
        17. 270 nm–170 nm
        18. 70 nm–1 nm
        19. IDMS
        20. Gießereien
    5. LATAM
      1. LATAM Markt für Fotolithografie-Ausrüstung Nach Prozess 2022-2034 (USD MILLION/ Units)
        1. Ultraviolett
        2. Tiefes Ultraviolett
        3. Extremes Ultraviolett
      2. LATAM Markt für Fotolithografie-Ausrüstung Auf Antrag 2022-2034 (USD MILLION/ Units)
        1. Frontend
        2. Backend
      3. LATAM Markt für Fotolithografie-Ausrüstung Durch Lichtquelle 2022-2034 (USD MILLION/ Units)
        1. Quecksilberlampe
        2. Fluorlaser
        3. Excimerlaser
        4. Andere
      4. LATAM Markt für Fotolithografie-Ausrüstung Nach Typ 2022-2034 (USD MILLION/ Units)
        1. EUV
        2. DUV
        3. I-Line
        4. ArF
        5. ArFi
        6. KrF
      5. LATAM Markt für Fotolithografie-Ausrüstung Nach Wellenlänge 2022-2034 (USD MILLION/ Units)
        1. 370 nm–270 nm
        2. 270 nm–170 nm
        3. 70 nm–1 nm
      6. LATAM Markt für Fotolithografie-Ausrüstung Vom Endnutzer Vom Endnutzer 2022-2034 (USD MILLION/ Units)
        1. IDMS
        2. Gießereien
      7. Brasilien
        1. Ultraviolett
        2. Tiefes Ultraviolett
        3. Extremes Ultraviolett
        4. Frontend
        5. Backend
        6. Quecksilberlampe
        7. Fluorlaser
        8. Excimerlaser
        9. Andere
        10. EUV
        11. DUV
        12. I-Line
        13. ArF
        14. ArFi
        15. KrF
        16. 370 nm–270 nm
        17. 270 nm–170 nm
        18. 70 nm–1 nm
        19. IDMS
        20. Gießereien
      8. Mexiko
        1. Ultraviolett
        2. Tiefes Ultraviolett
        3. Extremes Ultraviolett
        4. Frontend
        5. Backend
        6. Quecksilberlampe
        7. Fluorlaser
        8. Excimerlaser
        9. Andere
        10. EUV
        11. DUV
        12. I-Line
        13. ArF
        14. ArFi
        15. KrF
        16. 370 nm–270 nm
        17. 270 nm–170 nm
        18. 70 nm–1 nm
        19. IDMS
        20. Gießereien
      9. Argentinien
        1. Ultraviolett
        2. Tiefes Ultraviolett
        3. Extremes Ultraviolett
        4. Frontend
        5. Backend
        6. Quecksilberlampe
        7. Fluorlaser
        8. Excimerlaser
        9. Andere
        10. EUV
        11. DUV
        12. I-Line
        13. ArF
        14. ArFi
        15. KrF
        16. 370 nm–270 nm
        17. 270 nm–170 nm
        18. 70 nm–1 nm
        19. IDMS
        20. Gießereien
      10. Chile
        1. Ultraviolett
        2. Tiefes Ultraviolett
        3. Extremes Ultraviolett
        4. Frontend
        5. Backend
        6. Quecksilberlampe
        7. Fluorlaser
        8. Excimerlaser
        9. Andere
        10. EUV
        11. DUV
        12. I-Line
        13. ArF
        14. ArFi
        15. KrF
        16. 370 nm–270 nm
        17. 270 nm–170 nm
        18. 70 nm–1 nm
        19. IDMS
        20. Gießereien
      11. Kolumbien
        1. Ultraviolett
        2. Tiefes Ultraviolett
        3. Extremes Ultraviolett
        4. Frontend
        5. Backend
        6. Quecksilberlampe
        7. Fluorlaser
        8. Excimerlaser
        9. Andere
        10. EUV
        11. DUV
        12. I-Line
        13. ArF
        14. ArFi
        15. KrF
        16. 370 nm–270 nm
        17. 270 nm–170 nm
        18. 70 nm–1 nm
        19. IDMS
        20. Gießereien
      12. Rest von LATAM
        1. Ultraviolett
        2. Tiefes Ultraviolett
        3. Extremes Ultraviolett
        4. Frontend
        5. Backend
        6. Quecksilberlampe
        7. Fluorlaser
        8. Excimerlaser
        9. Andere
        10. EUV
        11. DUV
        12. I-Line
        13. ArF
        14. ArFi
        15. KrF
        16. 370 nm–270 nm
        17. 270 nm–170 nm
        18. 70 nm–1 nm
        19. IDMS
        20. Gießereien
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