01 Schnelle Einführung von Hybrid- und Feinklebungsverfahren Der Markt verlagert sich hin zu fortschrittlichen, margenstarken Lösungen wie Hybrid- und Feinstrukturbonden anstelle klassischer Draht- und Chipbefestigungsverfahren. Dieser Trend wird durch die Nachfrage nach gestapelten Speicher- und Chiplet-Architekturen im Hochleistungsrechnen, wie beispielsweise High Bandwidth Memory (HBM) und Logik für KI, angetrieben. Beispielsweise berichtete BE Semiconductor Industries (Besi) im Juni 2025 über einen Anstieg der Buchungen für Hybrid-Bonding-Werkzeuge für HBM- und Logikanwendungen, den sie explizit mit der Nachfrage nach KI und Rechenzentren sowie den Anforderungen an das Chip-Stacking in Verbindung brachten. Diese Entwicklung erhöht die Stückkosten von Bonding-Anlagen. Gleichzeitig steigert sie den Wert fortschrittlicher Bonding-Dienstleistungen, da führende OSATs wie ASE und Amkor massiv in neue Kapazitäten investieren, um diese Nachfrage zu decken.
September 2025 Die EV Group erzielte mit ihrem Messsystem EVG40 D2W einen Durchbruch in der Hybrid-Bonding-Overlay-Kontrolle. Die Technologie ermöglicht die Messung des Chip-Overlays im Hochdurchsatzverfahren und verbessert so die Prozesskontrolle und die Ausbeute bei Chiplets und der fortschrittlichen 3D-Integration.
Mai 2026:Imec und die EV Group demonstrierten ein Wafer-zu-Wafer-Hybridbonden mit einem Kupfer-Verbindungsraster von 200 nm und einer Rekordgenauigkeit bei der Ausrichtung nach dem Bonden. Die Zusammenarbeit unterstützt die fortschrittliche 3D-Halbleiterintegration von Logik-zu-Logik- und Speicher-zu-Logik-Komponenten.
Mai 2026:ASMPT präsentierte seine LITHOBOLT-Lösung für die Chip-zu-Wafer-Verbindung und die FIREBIRD-Thermokompressions-Bonding-Plattformen für KI-Beschleuniger, HBM und Chiplet-Architekturen. Die Systeme unterstützen die Halbleiterintegration mit extrem feiner Strukturbreite und hoher Dichte.