01 2025年全球用于碳化硅晶圆的微波辅助加工设备市场规模为1.4156亿美元,预计将从2026年的1.594亿美元增长到2034年的4.1189亿美元,在2026年至2034年的预测期内,复合年增长率将达到12.6%。亚太地区在2025年占据了用于碳化硅晶圆的微波辅助加工设备市场的主导地位,市场份额为48.2%。多线切割机(MWS)是一种先进的切割工具,用于切割碳化硅(SiC)晶片,碳化硅是高功率、高频电子器件的关键材料。这些机器使用多根涂有研磨浆料的细线,精确切割坚硬易碎的碳化硅材料,从而最大限度地减少材料浪费并获得高质量的表面光洁度。该工艺包括将细线拉过含有研磨颗粒的浆料槽,研磨颗粒会在细线移动的过程中将其磨掉。与传统锯切方法相比,微波切割机因其能够生产出厚度均匀、切缝损耗(切割过程中材料损失)更低的薄晶片而备受青睐。其高精度和高效率使其成为碳化硅晶片生产的关键材料。碳化硅晶片因其优异的导热性、高电场强度和耐高温性能,在电力电子、电动汽车和可再生能源系统等领域的应用需求日益增长。